当摩尔定律推动半导体行业迭代进步时，半导体设备成为了延续摩尔定律的重要一环。在芯片的数百层结构中，每一层的“沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入、去胶”的背后，都需要半导体设备零部件合作完成。　　也有人这么说，半导体行业就是“一代技术、一代工艺、一代设备”。如果说，半导体是全球科技发展的“基石”，那么隐藏在背后的...

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